Bor-Nitrid Zielrahmen
Materialmarke: BN99, TPBN, HBN, AlN-BN, ZCBN
Reinheit: 99,5% (BN99)
Zusatz: <0,5 Gew.-% (BN99, TPBN)
Maximale Verfügbare Größe: 406 x 406 x 203 mm
- Produktdetails
Targetrahmen
Ein Targetrahmen ist die Struktur oder der Halter, der das Sputter-Target während des Sputterprozesses an Ort und Stelle hält. Der Targetrahmen ist in der Regel ein Metallrahmen, der dazu ausgelegt ist, das Sputter-Target-Material sicher zu halten, das in der Regel in Form einer festen Scheibe oder einer rechteckigen Platte vorliegt.
Der Targetrahmen spielt eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der richtigen Ausrichtung, Stabilität und des elektrischen Kontakts zwischen dem Sputter-Target und dem Sputtersystem. Er besteht in der Regel aus einem leitfähigen Material, das den elektrischen Anschluss an das Target ermöglicht und den für den Sputtervorgang erforderlichen Stromfluss sicherstellt.
Während des Sputterprozesses wird der Targetrahmen innerhalb der Sputterkammer montiert und dem zu beschichtenden Substrat zugewandt positioniert. Der Rahmen hält das Target in einer festen Position, so dass der Sputtervorgang präzise und effizient durchgeführt werden kann.
Warum Bornitrid-Targetrahmen?
Bornitrid-Keramiken sind eine Reihe von Materialien, die eine hervorragende elektrische Isolierung, eine geringe Dielektrizitätskonstante und eine hohe dielektrische Festigkeit aufweisen. Im Allgemeinen ist es ein ideales Material für Isolatoren, die in PVD-Geräten eingesetzt werden müssen, um den elektrischen Lichtbogen zum Target zu lenken und die anderen Komponenten in der Vakuumkammer zu schützen. Mit einer relativ geringeren Benetzbarkeit von Metall können auf den BN-Targetrahmen abgeschiedene Targetmaterialien leichter entfernt werden.
Verfügbare Verbundwerkstoffe
QSAM hat auch BN-basierte Verbundkeramikmaterialien entwickelt, die eine bessere Festigkeit und Verschleißbeständigkeit aufweisen. Um die Eigenschaften von BN und anderen keramischen Materialien wie Aluminiumnitrid oder Zirkonium zu kombinieren, weisen die Verbundwerkstoffe in der Regel eine ausreichende elektrische Isolation auf, aber eine längere Lebensdauer.
Liste der Bornitrid-Materialien für BN-Targetrahmen
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BN99 (Datenblatt) |
>99% reines Bornitrid-Material |
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BN-SiC (Datenblatt) |
Mit SiC verstärktes Bornitrid |
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BN-AlN (Datenblatt) |
Mit Aluminiumnitrid verstärktes BN |
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ZCBN (Datenblatt) |
Mit Zirkonium verstärktes BN |
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PBN (Datenblatt) |
Pyrolytisches Bornitrid (hochrein, nicht heißgepresst) |
Da Bornitrid ein zerspanbares Keramikmaterial ist, können wir es nach Ihren Zeichnungen in ca. 2 Wochen herstellen. Bitte klicken Sie auf "Anfrage senden", um uns eine Nachricht zu senden und gegebenenfalls eine Zeichnung hochzuladen.
Verpackung von BN-Zielrahmen
Als Keramikmaterial ist Bornitrid in vielen Fällen recht zerbrechlich. Die BN-Zielrahmen werden normalerweise vakuumverpackt in Plastiktüten gehalten und mit schwerem Schaumstoff geschützt.
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