Oxide

Oxide sind eine Klasse von Verbindungen, die aus einem oder mehreren Sauerstoffatomen bestehen, die mit anderen Elementen verbunden sind. Sie spielen in verschiedenen Bereichen aufgrund ihrer vielfältigen Eigenschaften und Anwendungen eine entscheidende Rolle. Oxidkeramiken wie Aluminiumoxid und Zirkoniumoxid werden als Strukturkeramiken weit verbreitet eingesetzt, und andere verschiedene Oxidmaterialien dienen normalerweise als Sputtertargets zur Abscheidung dünner Schichten für eine Vielzahl von Industriezweigen. 

Titandioxid (TiO2): Es ist eine vielseitige Oxidkeramik, die für ihren hohen Brechungsindex, ihre hervorragende UV-Beständigkeit und ihre photokatalytischen Eigenschaften bekannt ist. Es wird in Pigmenten, Beschichtungen, Sonnenschutzmitteln, Photokatalyse und optischen Geräten häufig verwendet. TiO2-Sputtertargets werden bei der Abscheidung dünner Schichten für Anwendungen in Solarzellen, Katalysatoren und optischen Beschichtungen eingesetzt.


Siliziumdioxid (SiO2): Auch bekannt als Siliziumoxid, ist es eine transparente und hochstabile Oxidkeramik. Es wird in verschiedenen Anwendungen wie optischen Fasern, Halbleitern, Isoliermaterialien, optischen Beschichtungen und als dielektrische Schicht in elektronischen Geräten eingesetzt. SiO2-Sputtertargets werden häufig für die Abscheidung dünner Schichten in der Mikroelektronik, für optische Beschichtungen und Schutzschichten verwendet.


Neodymiumoxid (Nd2O3): Es ist ein Seltenerdenoxid mit hervorragenden optischen Eigenschaften, das in Lasern, der Glasherstellung und als Dotierungsmittel in elektronischen Bauteilen wertvoll ist. Nd2O3-Sputtertargets werden bei der Herstellung dünner Schichten für optoelektronische Geräte, Laser und Speichermedien eingesetzt.

Zinkoxid (ZnO): Es zeigt eine große Bandlücke und piezoelektrische Eigenschaften, die es für Anwendungen in Sensoren, Wandlern, Optoelektronik und als Bestandteil in Sonnenschutzformulierungen geeignet machen. Da ZnO in transparenten Elektroden, Sensoren und optoelektronischen Geräten Anwendung findet, werden ZnO-Sputtertargets für die Herstellung dünner Schichten zu deren Produktion verwendet.

Darüber hinaus werden Sputtertargets aus LiCoO2 bei der Herstellung von Dünnschichtbatterien und Energiespeichergeräten eingesetzt, während PbTiO3-Sputtertargets bei der Herstellung piezoelektrischer Geräte wie Sensoren und Aktuatoren Anwendung finden.