Polytetrafluorethylen (PTFE) Sputter-Ziel
Zusammensetzung: Polytetrafluorethylen (PTFE)
Katalog-Nr.: DPPTEFEST
Reinheit: 99%
Maximaler Durchmesser: 14"
Typische Lieferzeit: 3 Wochen
Ref. Preis: $323 (2" Durchmesser x 1/8")
- Produktdetails
Das Sputtern von PTFE, eine kurze Einführung
PTFE mit der chemischen Formel C2F4 ist ein recht häufiges thermisch beständiges Kunststoffmaterial. Obwohl Kunststoff nicht üblich als Sputtertarget ist, wird PTFE in speziellen wasserdichten/hydrophoben oder elektrisch widerstandsfähigen Dünnschichtbeschichtungen für spezielle elektrische Komponenten verwendet. Als Polymer wird PTFE-Material häufig durch Sprühen auf mechanische Teile beschichtet. Aufgrund der hohen chemischen Stabilität von PTFE ist es jedoch schwierig, es ohne Zusätze wie PFOA (das als Giftmüll gilt) zu beschichten. Auch kann die herkömmliche Beschichtungsmethode keine spiegelglatte Dünnschichtbeschichtung erfüllen. Um diese Probleme zu lösen, wurden PVD- und CVD-Verfahren entwickelt, um spezielle Dünnschichtbeschichtungen aus PTFE herzustellen. Insbesondere beim Sputtern hat es den Vorteil, einen Co-Sputtering-Prozess von PTFE mit anderen Materialien durchzuführen, um Verbundschichten mit zusätzlichen wünschenswerten Funktionen zu erhalten.
Als elektrischer Isolator wird PTFE-Target normalerweise durch PLD-Verfahren (Gepulste Laserdeposition) gesputtert.
Aufgrund des großen Wärmeausdehnungskoeffizienten von PTFE ist bei der Zerstäubung mit einer Metallrückwand besondere Vorsicht geboten. Ein hocheffizientes Kühlsystem wird empfohlen, da das PTFE-Material nach 300°C schmelzen könnte.
Verpackung des PTFE-Sputtertargets
Unsere Polytetrafluorethylen-Sputtertargets sind für einen sicheren Versand in Plastikbeuteln vakuumversiegelt. Wir verwenden auch schweren Schaum, um dieses empfindliche Keramikmaterial zu schützen. Gemeinsam mit den Sputtertargets werden Packliste und Analysebericht (COA) geliefert.
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