Kaliumtantalat (KTaO3) Sputter-Target
Katalog Nr.:DPOX19TAST
Reinheit:99%
Maximaler Durchmesser:6"
Typische Lieferzeit:5 Wochen
Referenzpreis:$892 (2" Durchm. x 1/8")
- Produktdetails
Über KTaO3 Sputtern
Kaliumtantalat (KTaO3) fungiert als ein wichtiges ferroelektrisches Material mit ferroelektrischen, optischen und elektrooptischen Eigenschaften sowie Piezoelektrizität. Es findet breite Anwendung in der Elektronik, Optik, Optoelektronik und in Akustikgeräten.
Als Ferroelektrikum kann KTaO3 selbst polarisieren und unter äußeren elektrischen Feldern Ladungstrennung oder Polarisation erzeugen. Dies eignet es sich gut für Elektronik- und Speicheranwendungen wie ferroelektrische Direktzugriffspeicher (FRAM), Ladungskopplungsgeräte (CCD) und piezoelektrische Sensoren. Während der Halbleiterherstellung solcher Geräte wird oft Dünnschichttechnologie unter Verwendung von KTaO3-Sputtertargets eingesetzt.
KTaO3 zeigt außerdem günstige optische Eigenschaften wie eine breite Bandlücke und hohe Transparenz im ultravioletten bis nahinfraroten Spektrum. Gesputterte KTaO3-Targets ermöglichen die physikalische Gasphasenabscheidung von optischen und photonischen Bauteilen wie Wellenleiter, Glasfasern und Photodetektoren.
KTaO3 wandelt auch mechanischen Stress in elektrische Signale um, da es piezoelektrisch wirkt. Diese Eigenschaft bietet Potenzial für Akustiksensoren, Drucksensoren und Oberflächenwellengeräte.
QSAM's KTaO3 Sputtertarget
Kaliumtantalat (KTaO3) fungiert als einphasiges Material, das Forscher durch Mischung von Kaliumoxid und Tantaloxid mittels Festphasensynthese herstellen. Anschließend mahlen sie die resultierende Mischung zu einem Pulver und sintern es, um gereinigtes, einphasiges KTaO3-Material zu erhalten.
Für die Herstellung von KTaO3-Sputtertargets verwenden Hersteller das gereinigte KTaO3-Material. Sie bereiten den Sputtertarget, indem sie das KTaO3-Material über Indium-Bonden an eine Standard- oder Sonderrückplatte binden. Dieser Bondingprozess gewährleistet eine gute Haftung zwischen dem KTaO3-Material und der Rückplatte, was eine effiziente Sputterung während der Beschichtung ermöglicht.
Sputtertarget-Verpackung
In vielen Fällen sind Verbindungen von Mischoxiden anfällig gegenüber Wasser. Unsere Kaliumniobat-Sputtertargets sind für den sicheren Versand in Plastikbeuteln vakuumversiegelt. Wir verwenden auch schweren Schaumstoff, um dieses empfindliche Keramikmaterial zu schützen. Zu den üblichen Dokumenten, die zusammen mit den Sputtertargets geliefert werden, gehören Packliste und Analysebericht (COA).
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