Pyrolytische Bornitrid-Platte | PBN-Platte

Pyrolytische Bornitrid (PBN) Platte

Pyrolytische Bornitrid (PBN) Platten werden unter Verwendung eines Chemische-Gasphasen-Abscheidungs (CVD) Verfahrens hergestellt. Der Prozess umfasst die thermische Zersetzung eines Gasgemischs, das Bor und Stickstoff unter kontrollierten Bedingungen enthält. Der Prozess beginnt damit, dass ein Substrat, in der Regel aus Graphit oder Siliziumkarbid, in eine Reaktionskammer eingebracht wird. Das Substrat wird auf eine hohe Temperatur, üblicherweise über 1800°C, erhitzt und ein Gasgemisch, das Bor und Stickstoff enthält, in die Kammer eingebracht. Das Gasgemisch kann Bortrichlorid (BCl3) und Ammoniak (NH3) enthalten, die zu Bornitrid (BN) reagieren. 

 BCl3 + NH3 --> BN +HCl

 Während das Gasgemisch über das Substrat strömt, reagieren die Bor- und Stickstoffatome, um eine dünne Schicht Bornitrid auf der Substratoberfläche zu bilden. Der Vorgang wird mehrmals wiederholt, um die Dicke der Bornitridschicht bis zur gewünschten Stärke aufzubauen. 

 Die resultierenden PBN-Platten haben hervorragende thermische und elektrische Eigenschaften, die sie für eine Vielzahl von Hochtemperaturanwendungen wie Halbleiterfertigung, Luft- und Raumfahrt sowie Kernindustrie nützlich machen. PBN-Platten sind auch sehr beständig gegen chemische Angriffe und haben geringe Wärmeausdehnungskoeffizienten, was sie für den Einsatz in rauen Umgebungen geeignet macht.

PBN Plattendimensionen

QSAM bietet pyrolytische Bornitrid (PBN) Platten in verschiedenen Dicken von 1 mm bis 3 mm oder sogar darüber an. Diese Platten werden aus vorrätig gehaltenen PBN-Platten mit Durchmessern von 10 bis 14 Zoll geschnitten. Die Größe des Rohmaterial-PBNs ist durch die Größe der verwendeten Ausrüstung begrenzt, aber die fertigen PBN-Produkte können in alle Arten von maßgeschneiderten Formen bearbeitet werden. Wir sind bestrebt, hochwertige PBN-Platten anzubieten, die den einzigartigen Bedürfnissen unserer Kunden entsprechen. 

Eigenschaften unserer PBN-Platten

Eigenschaft	Wert	Einheit
Chemische Formel	BN
Kristallstruktur	Hexagonal
Dichte	2,1	g/cm³
Schmelzpunkt	Schmilzt nicht
Wärmeausdehnungskoeffizient	1,0-1,5	×10^-6/K
Härte	4	Mohs
Brechungsindex	1,8-1,9
Wärmeleitfähigkeit	25-200	W/(m·K)
Elektrischer Widerstand	>10^14	Ω·cm
Dielektrizitätskonstante	3,5-4,0
Stabilität	>2000°C in Inertgas

Wie Pyrolytische Bornitrid-Platten/Folien hergestellt werden

Liste der von QSAM gelieferten PBN-Produkte

PBN Scheibe/Platte/Ring

PBN-Bearbeitungsprodukte und Sonderteile

PBN-Tiegel (VGF/LEC/Konisch/MBE)

PBN Plattenkonfiguration

Obwohl die durch den CVD-Fertigungsprozess erzielte fast perfekte Schichtstruktur PBN eine gewisse Elastizität verleiht (was für Keramikmaterialien selten ist), wird PBN im Allgemeinen als relativ spröde angesehen. Die PBN-Platten werden normalerweise vakuumverpackt in Plastikbeuteln gehalten und mit schwerer Schaumstoffverpackung geschützt.

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