Sr3Al2O6 Sputterziel
Zusammensetzung:Sr3Al2O6 (SAO)
Katalog-Nr.:DPMO216ST
Reinheit:>99,5%
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- Produktdetails
Über das Sr3Al2O6-Sputtering-Ziel
Sr3Al2O6 (SAO) ist eine Verbindung mit Perowskit-Struktur, die hervorragende optische, elektrische und thermische Stabilitätseigenschaften aufweist. Es besitzt ein breites Anwendungspotenzial in verschiedenen Bereichen.
Speziell im Bereich der Optik zeigt Sr3Al2O6 gute optische Eigenschaften wie hohe Transparenz und einen relativ niedrigen Brechungsindex. Es überträgt stark im ultravioletten bis nahinfraroten Bereich. Daher ist Sr3Al2O6 vielversprechend für optische Anwendungen wie Fenster, Linsen und Sensoren. Üblicherweise wird Sputtern verwendet, um Sr3Al2O6-Beschichtungen zu erhalten. Hier dient eine feste Sr3Al2O6-Scheibe als Sputtering-Ziel oder Ausgangsmaterial, das aktiv dünne Filme abscheidet.
Darüber hinaus zeigt Sr3Al2O6 aufgrund seiner Perowskit-Struktur und der speziellen Ionenstruktur auch einige elektrische Eigenschaften. Es weist innerhalb bestimmter Temperaturbereiche ferroelektrische Eigenschaften, also die Fähigkeit zur Selbstpolarisation, auf. Daher hat Sr3Al2O6 potenzielle Anwendungen in elektronischen und Speichergeräten wie ferroelektrischen RAMs und Kondensatoren. Darüber hinaus scheiden Dünnschichtbeschichtungsverfahren wie Sputtern während der Halbleiterherstellung mehrere Materialien ab. Dementsprechend dienen Sr3Al2O6-Sputtering-Ziele als Verbrauchsmaterial für die Herstellung von Geräten mit Sr3Al2O6-Beschichtungen.
Zusammenfassend geben die stabilen Eigenschaften von SAO ihm vielfältige Anwendungen durch spezialisierte Beschichtungsverfahren, die seine optischen und elektrischen Eigenschaften nutzen.
Reguläre Abmessungen und Preise des Sr3Al2O6 (Sr3Al2O6)-Sputtering-Ziels
Produktname |
Referenzpreis |
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Sr3Al2O6-Sputtering-Ziel, 2"Durchm. x 1/8"Dicke |
$660 | In den Warenkorb |
Sr3Al2O6-Sputtering-Ziel, 3"Durchm. x 1/8"Dicke |
Preis auf Anfrage |
In den Warenkorb |
Sr3Al2O6-Sputtering-Ziel, 2"Durchm. x 1/8"Dicke, mit In-Bindung an Cu-Rückplatte |
$745 |
In den Warenkorb |
Sr3Al2O6-Sputtering-Ziel, 3"Durchm. x 1/8"Dicke, mit In-Bindung an Cu-Rückplatte |
Preis auf Anfrage | In den Warenkorb |
Über unsere Sputtering-Ziele
QSAM ist ein führender Anbieter von maßgeschneiderten Forschungs- und Entwicklungsmaterialien. Insbesondere kann unsere Ausrüstung flexibel konfiguriert werden, um den verschiedenen Anforderungen einer Vielzahl von Kunden für flache Sputtering-Ziele zu entsprechen.
Darüber hinaus unterstützen wir wichtige Institutionen wie US-amerikanische Nationalparks aktiv durch unser Spezialsortiment. Zusätzlich liefern wir Sputtering-Ziele und andere personalisierte Produkte an Universitäten und Einrichtungen weltweit. Unsere Materialien tragen somit zum Fortschritt wissenschaftlicher Bestrebungen in diesen wichtigen Organisationen bei.
Sputtern von Sr3Al2O6
Die Sputter-Abscheidung von Sr3Al2O6-Dünnschichten erfordert mehrere Schlüsselphasen. Zunächst wird das Sr3Al2O6-Pulver durch Heißpressen zu einer festen Scheibe gesintert, um das Sputtering-Ziel zu bilden. Anschließend wird das vorbereitete Ziel in das System eingebaut, das aus einer Vakuumkammer, einer Zielvorrichtung und einem Substrathalter besteht, der in einem optimalen Winkel und Abstand positioniert ist. Darüber hinaus erfordert die Substratvorbereitung die Auswahl eines geeigneten Materials wie Glas oder Silizium sowie das Reinigen und Oberflächenbehandeln, um eine gute Haftung zu gewährleisten. Der Abscheidungsprozess pumpt dann die Kammer auf Vakuum ab, bevor der Sr3Al2O6-Zielkörper mit einem Edelgasionenstrahl bombardiert wird. Dies löst Atome, die dann auf der Substratoberfläche beim Aufheizen abgeschieden werden. Darüber hinaus können die Filmeigenschaften und die Dicke durch Steuerung von Parametern wie Sputterleistung und Temperatur während der Abscheidung kontrolliert werden. Abschließend optimieren Nachbehandlungen wie Tempern die Kristallinität und Leistung nach Abschluss des Sputterns.
Verpackung des Sr3Al2O6-Sputtering-Ziels
Die Sputtering-Ziele von QSAM werden für den Versand vakuumverschweißt in Plastiktüten verpackt. Wir verwenden auch schweren Schaum zum Schutz. Zu den üblichen Dokumenten zusammen mit den Sputtering-Zielen gehören Packliste und Analysebericht, z.B. CoA.
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