Legierungs-Sputter-Targets
Katalog-Nr. DPALST
Reinheit: 99,9 % ~ 99,999 %
Max. Durchmesser: 18"
- Produktdetails
Liste unserer Legierungsputtertargets
Über Sputtertargets
Sputtertargets dienen als Quellmaterial in physikalischen Gasphasenabscheidungsverfahren wie der Sputterbeschichtung. Diese Targets sind in einer Vielzahl von Zusammensetzungen und Größen erhältlich, die auf verschiedene Anwendungen abgestimmt sind. Gängige Targetmaterialien umfassen Metalle, Metalllegierungen, Halbmetalle und Nichtmetalle. Targets haben oft eine scheibenförmige Gestalt mit Durchmessern zwischen 2 und 12 Zoll sowie Dicken von 1/8 bis 2 Zoll. Die Zusammensetzung und Reinheit der Targets werden streng kontrolliert, um eine konsistente und reproduzierbare Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten.
Während der Sputterbeschichtung wird das Sputtertarget gegenüber dem Substrat, wie einem Siliziumwafer, in einer Vakuumkammer platziert. Durch Anlegen eines elektrischen Stroms an das Target werden Oberflächenatome durch den Impulstransfer von ionisierten Gasplasmteilchen herausgelöst. Diese abgelösten Atome kondensieren dann als dünner Film auf dem Substrat. Durch Regulierung von Prozessparametern wie Gaszusammensetzung, Druck, Spannung und Abscheidungszeit können mit dem Sputtern von Targets Dünnschichten mit präzise definierten Eigenschaften hergestellt werden. Daher sind Sputtertargets als reproduzierbare Quellmaterialien in der physikalischen Gasphasenabscheidung von entscheidender Bedeutung, da sie die abgeschiedenen Filmschichtatome liefern.
QSAM's Legierungssputtertargets
QS Advanced Materials ist ein Anbieter von Sputtertargets, die speziell für Forschung und Entwicklung konzipiert sind. Als F&E-fokussiertes Unternehmen verstehen wir die sich wandelnden Bedürfnisse von Wissenschaftlern und Ingenieuren. Mit unseren VIM-Öfen und Heißpressen können wir präzise flache, scheibenförmige Legierungssputtertargets in einer Vielzahl von Zusammensetzungen herstellen. Ob Sie gängige Metalle oder exotische Mehrkomponentenlegierungen benötigen, unsere Fähigkeiten ermöglichen die Synthese von Targets mit Durchmessern von 1 Zoll bis 18 Zoll. Bei QS Advanced Materials finden Sie eine angenehme Umgebung, um Sputtertargets mit maßgeschneiderten Zusammensetzungen zu beschaffen. Wir streben danach, ein erstrangiges Ziel für Forscher zu sein, die hochwertige, individuell gefertigte Sputtertargets erhalten möchten.
Sputtertargets mit anderen Zusammensetzungen
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Zusammensetzung |
Beschreibung |
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Oxide/Mischoxide |
Targets hergestellt aus Oxidverbindungen und Mischoxiden wie Titanaten. |
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Carbide |
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Nitride |
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Sulfide |
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Selenide |
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Telluride |
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Seltene Erden |
Sputtertargets aus Seltenerden-Metallen und Verbindungen |
Verpackung von Legierungs-Sputtertargets
Legierungen werden in Plastikbeuteln, vakuumversiegelt mit Materialbescheinigung verpackt. Um Brüche zu verhindern, verwenden wir robuste Schaumstoffverpackungen und übergroße Kisten.
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