Sputter-Targets mit einem einzelnen Element
Katalognr. DPELST
Reinheit: 99,9%~99,999%
Max. Durchmesser: 18"
- Produktdetails
Liste unserer Sputtertargets mit einzelnen Elementen
Produkt | Reinheit | Katalognr. | Typische Lieferzeit |
Aluminium-Scandium (Al/Sc) Sputtertargets | 99,9% | DPMA13ST | 4 Wochen |
Antimon (Sb) Sputtertargets | 99,99% | DPME51ST | 4 Wochen |
Bismut (Bi) Sputtertargets | 99,99% | DPME83ST | 4 Wochen |
Bor (B) Sputtertargets | 99,E205% | DPME5ST | 4 Wochen |
Cadmium (Cd) Sputtertargets | 99,99% | DPME48ST | 4 Wochen |
Cer (Ce) Sputtertargets | 99,9% (REM) | DPME58ST | 4 Wochen |
Chrom (Cr) Sputtertargets | 99,5% ~ 99,995% | DPME24ST | 4 Wochen |
Cobalt (Co) Sputtertargets | 99,9% | DPME27ST | 4 Wochen |
Dysprosium (Dy) Sputtertargets | 99,5% ~ 99,9% (REM) | DPME66ST | 4 Wochen |
Erbium (Er) Sputtertargets | 99,9% (REM) | DPME68ST | 4 Wochen |
Europium (Eu) Sputtertargets | 99,9% (REM) | DPME63ST | 4 Wochen |
Gadolinium (Gd) Sputtertargets | 99,9% ~ 99,99% (REM) | DPME64ST | 4 Wochen |
Hafnium (Hf) Sputtertargets | 99,95% | DPME72ST | 4 Wochen |
Holmium (Ho) Sputtertarget | 99,9% ~ 99,99% (REM) | DPME67ST | 4 Wochen |
Eisen (Fe) Sputtertargets | 99,9% | DPME26ST | 4 Wochen |
Lanthan (La) Sputtertargets | 99,5% ~ 99,9% (REM) | DPME57ST | 4 Wochen |
Lutetium (Lu) Sputtertargets | 99,5% ~ 99,9% (REM) | DPME71ST | 4 Wochen |
Magnesium (Mg) Sputtertargets | 99,9% | DPME12ST | 4 Wochen |
Mangan (Mn) Sputtertargets | 99,5% ~ 99,95% | DPME25ST | 4 Wochen |
Molybdän (Mo) Sputtertargets | 99,95% | DPME42ST | 4 Wochen |
Neodym (Nd) Sputtertargets | 99,9% ~ 99,95% (REM) | DPME60ST | 4 Wochen |
Nickel (Ni) Sputtertargets | 99,99% | DPME28ST | 4 Wochen |
Niob (Nb) Sputtertargets | 99,95% | DPME41ST | 4 Wochen |
Praseodym (Pr) Sputtertargets | 99,5% ~ 99,9% (REM) | DPME59ST | 4 Wochen |
Samarium (Sm) Sputtertargets | 99,9% (REM) | DPME62ST | 4 Wochen |
Scandium (Sc) Sputtertargets | 99,99% REM | DPME21ST | 4 Wochen |
Selen (Se) Sputtertargets | 99,99% | DPMA34ST | 4 Wochen |
Silizium (Si) (n-Typ) Sputtertargets | 99,99% | DPMA14ST | 4 Wochen |
Silizium (Si) (undotiert) Sputtertargets | 99,99% | DPMA14ST | 4 Wochen |
Silizium (Si) (p-Typ) Sputtertargets | 99,99% | DPMA14ST | 4 Wochen |
Silber (Ag) Sputtertargets | 99,99% | DPME47ST | 4 Wochen |
Tantal (Ta) Sputtertargets | 99,9% ~ 99,95% | DPMA73ST | 4 Wochen |
Tellur (Te) Sputtertargets | 99,99% | DPME52ST | 4 Wochen |
Terbium (Tb) Sputtertargets | 99,9% (REM) | DPME65ST | 4 Wochen |
Thulium (Tm) Sputtertargets | 99,95% REM | DPME69ST | 4 Wochen |
Zinn (Sn) Sputtertargets | 99,99% | DPME50ST | 4 Wochen |
Titan (Ti) Sputtertargets | 99,0% ~ 99,99% | DPME22ST | 4 Wochen |
Wolfram (W) Sputtertargets | 99,95% | DPMA74ST | 4 Wochen |
Vanadium (V) Sputtertargets | 99,9% | DPME23ST | 4 Wochen |
Ytterbium (Yb) Sputtertargets | 99,9% (REM) | DPME70ST | 4 Wochen |
Yttrium (Y) Sputtertargets | 99,9% REM | DPME39ST | 4 Wochen |
Zink (Zn) Sputtertargets | 99,99% | DPMA30ST | 4 Wochen |
Zirkonium (Zr) Sputtertargets | 99,95% | DPME40ST | 4 Wochen |
Über Sputtertargets
Ein Sputtertarget ist ein Material, das verwendet wird, um dünne Schichten mittels physikalischer Gasphasenabscheidung, wie z.B. Sputterbeschichtung, abzuscheiden. Sputtertargets gibt es in einer Vielzahl an Zusammensetzungen und Größen, je nach der beabsichtigten Anwendung. Übliche Sputtertargetermaterialien sind Metalle, Metalllegierungen, Metalloide und Nichtmetalle. Die Targets sind meist scheibenförmig mit Durchmessern von 2-12 Zoll und Dicken von 1/8 bis 2 Zoll. Die Zusammensetzung und Reinheit des Targets werden genau kontrolliert, um eine konsistente und reproduzierbare Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten.
Während der Sputterbeschichtung dient das Sputtertarget als Ausgangsmaterial. Es wird in einer Vakuumkammer gegenüber dem Substrat, wie z.B. einem Siliziumwafer, platziert. Es wird ein elektrischer Strom auf das Target angewendet, wodurch seine Oberflächenatome durch Impulsübertragung von Ionen aus dem Gasplasma herausgelöst werden. Diese abgelösten Atome kondensieren dann als dünne Schicht auf dem Substrat. Durch Steuerung der Prozessparameter wie Gaszusammensetzung, Druck, Spannung und Abscheidedauer können dünne Schichten mit präzise abgestimmten Eigenschaften durch Sputtern vom Target erzielt werden. Sputtertargets spielen daher eine entscheidende Rolle in der physikalischen Gasphasenabscheidung, indem sie die reproduzierbare Quelle des Abscheidematerials darstellen.
QSAM's Sputtertargets aus Einzelelementen
QS Advanced Materials ist ein führender globaler Anbieter von Sputtertargets für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Als Hersteller erkennen wir den Bedarf von Wissenschaftlern und Ingenieuren, neue Materialien zu entwickeln. Mit unserer hausinternen Heißpressanlage haben wir die Fähigkeit, kleine Sputtertargets in einer breiten Palette von Zusammensetzungen herzustellen. Von gängigen Metallen bis hin zu Seltenerdellegierungen und allem dazwischen sind unsere Targets präzise gefertigt, um die Erkundung neuer Materialgrenzgebiete zu ermöglichen. Bei QS Advanced Materials sind wir darauf ausgerichtet, die F&E-Gemeinschaft mit den Mitteln auszurüsten, um Innovationen voranzubringen. Unsere hochqualitativen Sputtertargets machen uns zum führenden Anlaufpunkt für Targeting-Bedürfnisse.
Sputtertargets mit anderen Zusammensetzungen
Zusammensetzung |
Beschreibung |
Oxid/Mischoxid |
Targets, die aus Oxidverbindungen und Mischoxiden wie Titanaten hergestellt werden. |
Carbide |
|
Nitride |
Sputtertargets, die aus Nitridverbindungen hergestellt werden |
Sulfide |
|
Selenide |
|
Telluride |
|
Seltene Erden |
Sputtertargets, die aus Seltenerden-Metallen und Verbindungen hergestellt werden |
Verpackung von Sputtertargets
Kunststoffbeutel, vakuumversiegelt, mit COA des Rohmaterials für das Sputtertarget
Verwandtes Produkt