Gemischte Oxid-Sputtering-Targets

Einführung in Mischoxide

Mischoxidverbindungen werden manchmal als Salze behandelt, da sie wie ein Metallion mit einer Oxyacetatgruppe aussehen, wie z.B. LaCrO3. Für Mischoxid-Sputtertargets werden sie in den meisten Fällen zunächst durch Festkörpersynthese hergestellt und dann unter hoher Temperatur heißgepresst. Dieser zweifache Sinterungsprozess soll den besten Versuch darstellen, um ein einphasiges Material zu erhalten. Daher sind die Kosten deutlich höher als bei normalen Oxid-Sputtertargets, und es erfordert viel Erfahrung, ein einphasiges Sputtertarget mit ausreichender Dichte herzustellen.

Unser Sputtertarget-Produktsortiment

QSAM ist ein professioneller Anbieter von kundenspezifisch hergestellten F&E-Ausrüstungen und -Materialien. Unsere Heißpressen können in relativ kurzer Zeit Material mit der gewünschten Zusammensetzung zu wettbewerbsfähigen Preisen herstellen. Scheiben-Sputtertargets aus Mischoxiden können in einem Bereich von 1" bis 12" Durchmesser hergestellt werden, je nach Materialeigenschaften. Die meisten der regulär hergestellten Produkte sind reines Einphasenmaterial.

Liste unserer regulären Sputtertargets

*Andere Zusammensetzungen sind möglich, wenden Sie sich für weitere Informationen an sales@qsadvancedmaterials.com.

Produkt	Reinheit	Katalog-Nr.	Typische Lieferzeit
AgNbO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO201ST	4 Wochen
Ba2Bi1.05NbO6 Sputtertarget	>99,5%	DPMO202ST	4 Wochen
Ba2Bi1.05TaO6 Sputtertarget	>99,5%	DPMO203ST	4 Wochen
BaFeO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO204ST	4 Wochen
Barium-Strontium-Niobat (Ba0.25Sr0.75Nb2O6) Sputtertarget	99,9%	DPOX56FST	4 Wochen
Barium-Strontium-Titanat (Ba0.5Sr0.5TiO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX56ST	3 Wochen
Bariumtitanat (BaTiO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX56ST	4 Wochen
Bariumzirkonat (BaZrO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX56ST	3 Wochen
BaZr0.2Ti0.8O3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO205ST	4 Wochen
Bi1-xLaxFeO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO206ST	4 Wochen
BiFeO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO207ST	4 Wochen
Bismutferrit (BiFeO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX83ST	3 Wochen
Bismutferrit (Granat, Bi3Fe5O12) Sputtertargets	99,9%	DPOX83ST	4 Wochen
Bismuttitanat (Bi4Ti3O12) Sputtertargets	99,9%	DPOX83ST	3 Wochen
CaCuO2 Sputtertarget	>99,5%	DPMO208ST	3 Wochen
Kalziumruthentat (CaRuO3) Sputtertargets	99,9%	DPATOST	4 Wochen
Kalziumzirkonat (CaZrO3) Sputtertarget	99,9%	DPOX20ZST	4 Wochen
DyScO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO209ST	3 Wochen
ErMnO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO210ST	3 Wochen
Germanium (Ge) Sputtertargets	>99,5%	DPMO211ST	3 Wochen
HoMnO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO212ST	3 Wochen
Lithiummanganat (LiMn2O4) Sputtertargets	99,9%	DPMO325ST	4 Wochen
Lithiumtantalat (LiTaO3) Sputtertargets	99,9%	DPMO373ST	4 Wochen
Lanthanoluminat (LaAlO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX57ST	3 Wochen
Lanthanoluminat (LaAlO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX57ST	3 Wochen
Lanthanchromat (LaCrO3) Sputtertarget	99,9%	DPOX57CST	4 Wochen
Lanthanmanganat (LaMnO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX57ST	3 Wochen
Lanthanmanganat (LaMnO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX57ST	3 Wochen
Lanthanum-Strontium-Vanadat (LaSrVO3) Sputtertargets	99,9%	DP-LSVO-ST	4 Wochen
Lanthanum-Strontium-Manganat (La0,7Sr0,3MnO3) Sputtertarget	99,9%	DPOX58ZST	4 Wochen
Lanthanertitanat (LaTiO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX57ST	4 Wochen
Lanthanertitanat (LaTiO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX57ST	4 Wochen
Bleititanat (PbTiO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX82ST	4 Wochen
Bleizirkonat (PbZrO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX82ST	4 Wochen
Blei-Zirkonium-Titanat (PbZr0,52Ti0,48O3) Sputtertargets	99,9%	DPOX82ST	4 Wochen
Lithium-Eisenphosphat (LiFePO4, LFP) Sputtertargets	99,9%	DPLFPST	4 Wochen
Lithiumniobat (LiNbO3) Sputtertargets	99,9%	DPOX3ST	4 Wochen
Lithiumphosphat (Li3PO4) Sputtertargets	99,9% ~ 99,95%	DPOX3ST	4 Wochen
Nickel-Chrom-Oxid (Ni0,5Co0,5O) Sputtertarget	99,9%	DPOX2728ST	4 Wochen
Nickel-Ferrit (NiFe2O4) Sputtertarget	99,9%	DPFEOX28ST	4 Wochen
PbZr1-XTiXO3 Sputtertarget	>99,5%	DPMO214ST	3 Wochen
Kaliumniobat (KNbO3) Sputterziel	99,9%	DPOX19NBST	4 Wochen
Kaliumtantalat (KTaO3) Sputterziel	99,9%	DPOX19TAST	4 Wochen
Sr3Al2O6 Sputterziel	99,9%	DPSAOST	4 Wochen
SrCoO2,5 Sputterziel	99,9%	DPMO217ST	4 Wochen
SrCuO2 Sputterziel	99,9%	DPMO218ST	4 Wochen
SrInO3 Sputterziel	99,9%	DPMO219ST	4 Wochen
SrMnO3 Sputterziel	99,9%	DPMO221ST	4 Wochen
Strontiumniobat (SrNbO3) Sputterziele	99,9%	DPOXSNOST	4 Wochen
Strontiumrutheniat (SrRuO3) Sputterziele	99,9%	DPOX38ST	4 Wochen
Strontiumtitanat (SrTiO3) Sputterziele	99,9%	DPOX38ST	4 Wochen
Thulium-Eisengranat (Tm3Fe5O12) Sputterziele	99,9%	DP-TIG-ST	4 Wochen
Strontiumzirkonat (SrZrO3) Sputterziele	99,9%	DPOX38ST	4 Wochen
Yttrium-Eisengranat (YIG Y3Fe5O12) Sputterziel	99,9%	DPYIGST	4 Wochen
Ytterbiumtitanat (Yb2TiO5) Sputterziele	99,9%	DPMO7022ST	4 Wochen

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