Nitrid/Nitrat

Nitridkeramiken sind eine Klasse von Materialien, die aus Stickstoff und einem Metall- oder Halbmetall-Element bestehen. Sie weisen eine starke kovalente Bindung, hohe Schmelzpunkte, hervorragende thermische Stabilität und gute mechanische Eigenschaften auf. Nitridkeramiken finden aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften Anwendung in verschiedenen Branchen.

Bornitrid (BN) Keramiken sind für ihre außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, hohe elektrische Resistenz und bearbeitbare Härte bekannt. Sie werden in Anwendungen wie Hochtemperaturtiegel, Isolatoren und Schutzrohren eingesetzt. Hochreines Bornitrid kann durch einen Hochtemperaturprozess gewonnen werden, da die Verunreinigungen durch die Hitze verdampft werden. Der 99,9%ige Hochreinheits-TPBN wird durch diesen Prozess erhalten. Während 99,99%iges Bornitrid durch chemische Gasphasenabscheidung möglich ist und zur Herstellung von hochreinen Bornitrid-Sputtertargets verwendet werden kann. 

Siliziumnitrid (Si3N4) besitzt eine hohe Festigkeit, Zähigkeit und hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit. Es findet Anwendung in Schneidwerkzeugen, Lagern, Motorkomponenten und Turbinenschaufeln, wo Hochtemperatur- und Verschleißfestigkeit erforderlich sind. Dünnschichtbeschichtungen aus Siliziumnitrid können auf der Grundlage hochreiner Si3N4-Sputtertargets hergestellt werden, die durch Heißpressen produziert werden.

Titannitrid (TiN) ist für seine extreme Härte, geringe Reibung und hervorragende Korrosionsbeständigkeit bekannt. Es wird umfangreich als verschleißfeste Beschichtung auf Schneidwerkzeugen eingesetzt.Titannitrid (TiN) ist ein hoch bedeutsames Beschichtungsmaterial für die Erzielung goldähnlicher dekorativer Zwecke aufgrund seiner charakteristischen Goldfarbe. In jüngster Zeit hat der Einsatz von Titannitrid-Sputtertargets an Bedeutung gewonnen, um hochwertige TiN-Beschichtungen herzustellen und eine lebensfähige Alternative zu herkömmlichen Verfahren wie Titanplattieren und Nitrieren zu bieten. Diese Sputtertargets ermöglichen die Abscheidung von TiN-Beschichtungen mit hervorragender Haftung, Gleichmäßigkeit und Haltbarkeit. Die resultierenden TiN-Beschichtungen finden umfangreiche Anwendung in Branchen wie Schmuck, Architekturausstattung und Unterhaltungselektronik, wo die goldähnliche Optik gewünscht ist und eine attraktive und kosteneffektive Lösung bietet.

Aluminiumnitrid (AlN) zeigt eine hohe Wärmeleitfähigkeit, elektrische Isolation und hervorragende dielektrische Eigenschaften. Es wird in elektronischen Komponenten, Kühlkörpern, Substraten für die Leistungselektronik und LED-Gehäusen eingesetzt. AlN-Sputtertargets werden eingesetzt, um Dünnschichten in der Mikroelektronikherstellung herzustellen. Andererseits ist Aluminiumnitridkeramik auch ein Strukturkeramikmaterial mit der höchsten Wärmeleitfähigkeit aller Keramiken, so dass Aluminiumnitrid zur Herstellung von Substraten, Tiegeln und anderen maßgefertigten Teilen verwendet werden kann.

Chromnitrid (CrN) wird wegen seiner hohen Härte, geringen Reibung und hervorragenden Haftung geschätzt. Es findet Anwendung als verschleißfeste Beschichtung auf Schneidwerkzeugen, Formen und dekorativen Oberflächen.